读懂洁净环境的核心标准
无尘室等级科普:读懂洁净环境的核心标准
一、什么是无尘室等级?
无尘室(也叫洁净室)等级是衡量室内空气洁净度的核心标准,核心依据是单位体积空气中的悬浮粒子数量(按粒径分类统计),同时兼顾温度、湿度、压差、换气次数等辅助指标。
其本质是通过严格的空气过滤、气流组织和环境控制,将室内悬浮颗粒物控制在指定范围内,以满足精密制造、生物医药、电子半导体等行业的生产/实验要求。
二、主流无尘室等级标准
目前全球通用的是ISO 14644-1国际标准,我国国标GB/T 25915.1-2010等同采用该标准,替代了过去的“百级、千级、万级”传统叫法(传统等级可与ISO等级对应)。以下是常用等级的核心参数:
| ISO等级 | 传统等级称呼 | 0.1μm粒子限值(pc/m³) | 0.3μm粒子限值(pc/m³) | 0.5μm粒子限值(pc/m³) | 核心特点 |
|---|---|---|---|---|---|
| ISO 5 | 百级 | 24700 | 8320 | 3520 | 超高洁净度,需单向流送风 |
| ISO 6 | 千级 | 247000 | 83200 | 35200 | 高洁净度,适用于精密制程 |
| ISO 7 | 万级 | 2470000 | 832000 | 352000 | 应用最广,常规洁净生产环境 |
| ISO 8 | 十万级 | 24700000 | 8320000 | 3520000 | 基础洁净要求,通用生产环境 |
| ISO 9 | 百万级 | 247000000 | 83200000 | 35200000 | 接近普通室内环境,低洁净要求 |
注:ISO 1-4级为超高洁净等级(如芯片晶圆制造),日常工业应用中ISO 5-8级最为常见;粒子限值指“≤该粒径的粒子数量上限”,数值依据ISO 14644-1:2015标准。
三、不同等级无尘室的应用场景
- ISO 1-2级:芯片晶圆制造(7nm及以下制程)、航天精密组件装配、超高精度光学仪器研发;
- ISO 5级(百级):生物医药无菌灌装、手术室(层流)、半导体封装测试、液晶面板核心制程;
- ISO 6-7级(千/万级):电子元器件封装、医疗器械生产、疫苗制备、食品无菌加工;
- ISO 8级(十万级):电子组装车间、化妆品洁净生产、制药原料处理、包装车间;
- ISO 9级(百万级):普通工业生产辅助区、洁净室缓冲区、低精度电子配件加工。
四、无尘室等级的核心影响因素
等级高低并非仅由过滤器决定,而是多维度管控的结果:
1. 空气过滤系统:HEPA(高效过滤器)或ULPA(超高效过滤器)是核心,ISO 5级及以上需ULPA过滤器;
2. 气流组织:高等级(ISO 5及以上)采用单向流(层流),低等级采用乱流(非层流);
3. 换气次数:ISO 7级换气次数≥15次/小时,ISO 5级可达数百次/小时;
4. 压差控制:洁净室需保持正压(相对于非洁净区),防止外部污染进入;
5. 人员/物料管控:进入洁净室需穿戴专用洁净服、物料需经过风淋/传递窗净化。
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