- 产品描述
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晶圆隔离纸
防静电 | 高透气性 | 高洁净度 | 柔软不掉尘 | 半导体晶圆专用
核心产品参数
产品品名: 晶圆隔离纸核心功能: 晶圆存储/转运过程中的隔离、防护,防静电、防污染、防刮擦核心特性: 防静电、透气性高、高洁净度、表面柔软不易掉尘防静电等级: 表面电阻 10⁹-10¹²Ω,符合半导体行业防静电标准洁净等级: Class 100(百级)无尘车间生产,无硅、无卤素、低离子残留定制服务: 可按晶圆尺寸(4/6/8/12英寸)定制裁切,支持卷装/片装定制产品核心特性
防静电
采用特殊防静电工艺处理,表面电阻稳定在10⁹-10¹²Ω区间,有效消除静电吸附风险,避免晶圆表面被静电吸附的微尘污染,符合半导体行业ESD防护标准。
透气性高
精密孔隙结构设计,透气率≥90%,晶圆存储过程中可快速排出密封空间内的湿气与残留气体,避免晶圆表面产生氧化斑点或水汽凝结。
高洁净度
百级无尘车间全流程生产,原材料选用高纯度纤维,无硅、无卤素、低金属离子残留(离子含量≤10ppm),满足晶圆制造超高洁净要求。
表面柔软不易掉尘
采用超柔纤维热压成型工艺,无粘合剂添加,表面细腻柔软,与晶圆接触无刮擦风险,使用过程中无纤维脱落,避免二次污染晶圆表面。
适用应用领域
晶圆制造
晶圆切割/研磨后隔离防护、晶圆检测过程中临时铺垫、晶圆清洗后干燥隔离
晶圆存储
晶圆片装/盒装置放隔离、长期存储防潮防静电隔离、晶圆转运缓冲防护
半导体封装
芯片封装前晶圆隔离、封装制程中防静电防护、成品芯片与晶圆隔离铺垫
关键词:- 防氧化
- 洁净
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